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FOPLP-Ofen für Aushärtung und Tempern erhält dedizierte Kammer für 310-mm-Panels
AQWOL-5S optional mit Machine-Learning-Überwachung W-AIMS
NEW TAIPEI CITY, Taiwan –
18. August 2026
– Der taiwanesische Hersteller industrieller Trocknungs- und
Wärmebehandlungsanlagen WEISUN Industrial Co., Ltd. hat seinen AQWOL-5S
Smart Clean Room and Inert Gas Oven um eine dedizierte Konfiguration
für 310 × 310 mm große Panels erweitert. Sie richtet sich an
OSAT-Dienstleister und Substrathersteller mit
Fan-out-Panel-Level-Packaging-Linien (FOPLP). Die Kammer ist auf ein
einziges Panelformat ausgelegt, während die Standardkammer Panels bis
700 × 700 mm aufnimmt.
Verzug und Ausrichtungsfehler nehmen mit der Panelfläche zu. Sie
entstehen beim Aushärten und Tempern. Die Ofentechnik bestimmt damit
unmittelbar die Ausbeute in der Panel-Level-Fertigung.
Kammer auf ein Panelformat ausgelegt
Die 310-mm-Konfiguration fasst 25 Panels je Kassette in einer auf
dieses Format ausgelegten Kammer. Die Prozessregelung ist identisch mit
der Standardkonfiguration. Die Luftführung der neuen Kammer erfolgt
über acht separat geregelte Luftzonen gegenüber 28 Zonen bei der
größeren Kammer. Die Temperaturverteilung ist mit ±3 °C spezifiziert.
Ein kleinerer Nutzraum benötigt weniger Spülgas. Zugleich muss weniger
thermische Masse stabilisiert werden.
Unter 50 ppm Sauerstoff für PI-, BCB- und PBO-Aushärtung
Der Ofen arbeitet von Raumtemperatur bis 200 °C in Reinraumklasse 100
(entspricht ISO 5) und hält die Sauerstoffkonzentration in der Kammer
unter 50 ppm, um eine Oxidation des Substrats während der
Wärmebehandlung zu verhindern. Die Standardkonfiguration hält die
Temperaturverteilung innerhalb von ±1,5 %. Zur Kühlung stehen
Luftkühlung mit N2 oder CDA sowie Wasserkühlung zur Verfügung, optional
ergänzt um eine Schnellluftkühlung.
Die Standardkonfiguration nimmt Stahl-Carrier mit Abmessungen von bis
zu 700 × 700 mm bei einer Dicke von 4 mm und einem Gewicht von 15 kg
pro Blatt auf. Die Glaspanelformate reichen von 310 × 310 mm in der
25-Slot-Kassette bis 700 × 700 mm auf 12 Einschubebenen.
Machine-Learning-Überwachung W-AIMS
Der Ofen ist optional mit WEISUNs eigener Steuerungs- und
Überwachungssoftware W-AIMS erhältlich. Diese bewertet den Zustand der
Luftführung anhand des Differenzdrucks am HEPA-Filter, der Dichtheit
der Kammer, des Verhaltens der Luftzonen und der Lüftungseffizienz, die
gegen konfigurierbare Grenzwerte gemessen wird. Wartungsempfehlungen
werden nach Schweregrad geordnet ausgegeben. Dahinter stehen
Machine-Learning-Modelle, die vor der Auslieferung trainiert und
anschließend beim Kunden an die tatsächlichen Prozessparameter
angepasst werden. Diese vier Teilsysteme bestimmen die erreichbare
Sauerstoffkonzentration, Reinraumklasse und Temperaturverteilung.
SEMI E187 Cybersicherheit nachgewiesen
WEISUN hat Ende 2024 den Konformitätsnachweis nach SEMI E187 erbracht,
der Spezifikation für Cybersicherheit von Anlagen in der
Halbleiterfertigung. Das Unternehmen ist nach ISO 9001 und ISO 27001
zertifiziert, Entwicklung und Fertigung erfolgen in Taiwan. Taiwan hat
weltweit den größten Anteil an der Fertigungskapazität für
Advanced-Packaging-Substrate.
Anbindung über SECS/GEM und CIM
Die Kommunikation erfolgt über CIM, Ethernet und SECS/GEM sowie PCB
ECI. Die Beladung und Entladung kann manuell oder automatisiert über
AMR-Roboter oder Förderband-Roboter erfolgen. Der Produktionsstatus,
sowie die Temperatur und die Sauerstoffkonzentration lassen sich aus
der Ferne abrufen. Prozesshistorie und Rückverfolgbarkeit werden
protokolliert.
Automation Taipei, Stand L426
WEISUN zeigt beide Konfigurationen vom 19. bis 22. August 2026 auf der Automation Taipei in der Nangang Exhibition Hall 1.
Auftragsbezogene Fertigung
Der AQWOL-5S wird in beiden Konfigurationen auftragsbezogen gefertigt.
WEISUN vertreibt direkt sowie über autorisierte Vertriebspartner.
Derzeit das Unternehmen in China und Südostasien vertreten.
Spezifikationen und Vertriebsanfragen: https://www.wei-sun-oven.com/product_d.php?lang=en&tb=2&id=992
Über WEISUN Industrial Co., Ltd.
WEISUN Industrial Co., Ltd. ist ein taiwanischer Hersteller von
industriellen Trocknungs- und Wärmebehandlungsanlagen mit Sitz in New
Taipei City. Das Unternehmen wurde 1976 als Auftragsfertiger für andere
Hersteller von Trocknungsanlagen gegründet und führte 2009 die eigene
Marke WEISUN ein. Seither stellt es ausschließlich eigene, in Taiwan
gefertigte Produkte her. WEISUN beliefert die Halbleiter-,
Leiterplatten-, Flachbildschirm- und LED-Industrie. Zu den Kunden
zählen Intel, Micron, GlobalFoundries, ASE und Unimicron. https://www.wei-sun-oven.com